COMPex 準(zhǔn)分子激光器是一種有效光源,設(shè)計(jì)緊湊,易于安裝和操作。它們可在固體取樣系統(tǒng)(LA-ICPMS)、材料研究(PLD)和材料加工等要求苛刻的應(yīng)用中提供更高的效果。COMPex 采用陶瓷預(yù)電離技術(shù),可提供數(shù)百毫焦輸出,以及高脈沖-脈沖穩(wěn)定性。COMPex 還配備了改進(jìn)的氣體處理器,可延長(zhǎng)氣體和光學(xué)器件的使用壽命。
可選擇 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 和 351 nm 波長(zhǎng),具有高材料靈活性
高達(dá) 750 mJ 的脈沖能量,可實(shí)現(xiàn)大場(chǎng)尺寸的有效燒蝕
0.75 % 均方根脈沖穩(wěn)定性,確保高通量控制
脈沖控制和系統(tǒng)參數(shù)記錄,提供智能和可重現(xiàn)的薄膜
高速 USB 2.0 標(biāo)準(zhǔn) A:從激光控制器上傳/下載數(shù)據(jù)
高速 USB 標(biāo)準(zhǔn) B:用于輸入/輸出操作模式的虛擬串行端口
以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)連接 RJ45:向激光控制器上傳/下載數(shù)據(jù)/從激光控制器上傳/下載數(shù)據(jù)
產(chǎn)地:美國(guó)
輸出波長(zhǎng):157;193 nm
脈沖能量:32;400 mJ
平均功率:1.6;15 W
Max重復(fù)率:50 Hz
1 sigma 能量穩(wěn)定性:≤ 0.75 %
脈沖持續(xù)時(shí)間(FWHM)typ.:20 ns
光束尺寸(V x H,F(xiàn)WHM)typ.:22 x 8 mm2
光束發(fā)散(V x H,F(xiàn)WHM)typ. :3 x 1 mrad2
1 sigma 光束指向穩(wěn)定性:≤ 50 µrad
電氣:200 至 240 V AC,16 A,50/60 Hz 可切換,單相;100 至 120 V AC,25 A,50/60 Hz 可切換,單相
水冷卻:≤ 5 l/min(1.3 gal./min)
環(huán)境溫度:10 至 20 ℃
連接尺寸: 1/2"
重量:325 kg(717 磅)
尺寸(長(zhǎng)x寬x高):1658 x 375 x 813 mm;66 x 15 x 32 英寸
F-版本部件號(hào):1314952
PLD - 脈沖激光沉積、薄晶片加工、激光剝離/脫粘、LA-ICP-MS