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COHERENT準(zhǔn)分子激光器LEAP 50A

產(chǎn)品介紹

LEAP 準(zhǔn)分子激光器集高占空比輸出、高可靠性和低擁有成本于一身。這使它們成為各種高要求、高產(chǎn)能、高精度微處理任務(wù)的適配光源,從顯示器制造到超導(dǎo)磁帶的卷對(duì)卷制造,不一而足。LEAP 激光器的波長(zhǎng)為 193 nm、248 nm 或 308 nm,輸出功率高達(dá) 600 W(脈沖能量高達(dá) 1.25 J)。這種功率采用緊湊型封裝,易于集成到工具或其他生產(chǎn)設(shè)備中。

性能特點(diǎn)

緊湊型工業(yè)設(shè)計(jì),易于集成

按需脈沖,實(shí)現(xiàn)低成本高工作效率的激光升/降

高激光能量,用于快速大面積加工

以太網(wǎng)接口,用于控制和快速數(shù)據(jù)采集

193 nm、248 nm 和 308 nm 波長(zhǎng),可對(duì)多種材料進(jìn)行優(yōu)化加工

選型指南

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

波長(zhǎng):193 nm

穩(wěn)定能量范圍:200 至 250 mJ

Max 重復(fù)頻率:200 Hz

Max穩(wěn)定平均功率:50 W

1 sigma 能量穩(wěn)定性:≤ 2 %

脈沖持續(xù)時(shí)間(FWHM)典型值︰18 ns

光束尺寸(V x H,F(xiàn)WHM)典型值︰25 x 13 mm²

發(fā)散(V x H,F(xiàn)WHM)︰≤4.5 x ≤1.5 mrad²

Max穩(wěn)定能量下的動(dòng)態(tài)氣體壽命:20 百萬(wàn)脈沖

電氣:3 相,200/208 或 400 VAC,50/60 Hz

水冷:8 至 20 升/分鐘;T=18 至 21 ℃

重量:860 kg(1896 磅)

機(jī)柜尺寸 (長(zhǎng)x寬x高):2415 x 800 x (1090 ±10) mm;95.1 x 31.4 x (42.9 ±0.4) in

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

LLO - 激光剝離(OLED 和 MicroLED)、PLD - 脈沖激光沉積、LDP - 激光直接圖案化、微結(jié)構(gòu)、LIFT - 激光誘導(dǎo)正向轉(zhuǎn)移(MicroLED)


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